实验及测量装置
膜厚测试仪
参数
• 量程：Fe：0-3000um，NFe：0-2000um
• 精度：0-50um：±1um，50um-1000um：±1.5%
• 1000um-2000um：±2%，2000um-3000um：±3%
• 最薄基体：Fe：0.2mm，NFe：0.05mm
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